1968年，Internet的先驅，ARPANET建立。雖然ARPANET的設計目的是使研究人員在合作一個項目時可以共享代碼和信息，但是它也成為了對開放源代碼可行性的一個展示。
1969年，貝爾實驗室的研究員Ken Thompson編寫了Unix的第一個版本，這是一個多用戶，多任務的操作系統。在整個七十年代，Unix的代碼都在免費的傳播，它迅速成為了在大學和研究機構中很流行的系統。
1971年，作為開放源碼的先驅，Richard Stallman加入了麻省理工學院的一個專門研究免費軟件的組織。作為Emacs文本編輯程序的開發者，他後來建立了GNU項目；這最終導致了免費的Linux操作系統的誕生。
1973年，來自DARPA(Defense Advanced Research Projects Agency)的Vinton Cerf和Bob Kahn開發了TCP/IP協議——該協議成為了Internet的網絡基礎。十年後，美國國防部為Internet命名，並且要求連入Internet的計算機都使用TCP/IP協議。
1979年，AT&T宣布了使Unix商業化的計劃。這導致加州大學伯克利分校建立自己的Unix版本，稱為BSD(Berkeley Software Distributions) Unix。BSD Unix被DEC和Sun這樣的商業公司所接受。後來AT&T和Sun同意將各自的Unix版本合並，並且推進其競爭對手(DEC，HP，以及IBM)共同建立開放軟件基金(Open Software Foundation)。
加州大學伯克利分校的一個學生，Eric Allman，開發了一個程序用來在ARPANET網上的計算機之間發送信息。Eric Allman隨後將這個程序進一步改造成sendmail。今天，Internet上有超過75%的e-mail服務使用這個開放源碼的程序來發送郵件。
1983年，為了反對軟件所有權私有化的趨勢，Stallman 建立了GNU計劃來推進免費軟件模型，並為此開發了一個免費的操作系統，應用程序以及開發工具。更重要的是，GNU建立了General Public License (GPL)，就是Copyleft，它成為許多開放源碼軟件所采用的模型。
1986年，Larry Wall建立了Perl(Practical Extraction and Report Language)，這是一種編寫CGI程序廣泛采用的通用編程語言。CGI為Web帶來了更多動態內容。
1987年，開發者Andrew Tanenbaum發布了Minix，這是一個為PC，Mac，Amiga，以及Atari ST設計的Unix版本，在發布時帶有完整的源代碼。
1989年，芬蘭赫爾辛基大學的一名學生Linus Torvalds為了超越Minix，發布了一個新的Unix變種——Linux。三年後，Linux正式接受GPL。今天，按照Red Hat Software的說法，全球有大約700萬Linux用戶。
1993年，FreeBSD 1.0發布。這個系統以BSD Unix為基礎，包括網絡，虛擬內存，任務切換，以及長文件名。BSD許可不需要開發者反饋任何東西。
1994年，Marc Ewing 建立Red Hat Linux，用以解決Linux易用性方面的問題。Red Hat包含Linux，第三方軟件，文檔，以及初級技術支持，售價為50美圓。Red Hat迅速成為領先的Linux發行人。同年，Bryan Sparks在前Novell CEO Ray Noorda的支持下建立Caldera。
1995年，Apache Group建立了一種新的Web Server——Apache，該服務器以NCSA(National Center for Supercomputing Applications)的HTTPd 1.3以及一系列的補丁為基礎。這種免費的Web Server以及成為最流行的HTTP server。
1997年，程序員Eric S. Raymond(也是《新黑客字典》的作者)發表了名為“大教堂和集市”的文章，對比了商業開發模型以及開放源碼開發模型。該文章成為Netscape的Mozilla.org的靈感。
1998年，Netscape宣布不僅其Communicator 5.0是免費的，而且還將發布其源代碼。
幾個主要的軟件廠商，包括CA，Corel，IBM，Informix，Interbase，Oracle，以及Sybase，宣布了支持Linux的產品計劃。
陷入反托拉斯訴訟的Microsoft，在一份聲明中引linux為例用以說明其在操作系統方面沒有壟斷地位。不久以後，萬聖節文檔——一系列Microsoft內部討論開放源碼軟件和linux威脅的備忘錄被洩露給了開放源碼團體，並且在Web上公布。
Sun Microsystem宣布計劃將Java 2(以前被稱為 JDK 1.2)的源碼公開給開發人員，但是這是在一個修改協定控制下的。
1999年，Linux 2.2發布； GNOME 1.0 發布； 支持Linux 2.2的Red Hat 6.0發布； IBM推出全面支持Linux計劃; HP宣布支持Linux;
——摘自：http://www.whlug.clinux.org
